窄光罩索引器

Brooks 光罩處理與管理產品可改善光罩存貨時效性,為晶圓廠帶來助益。 Brooks 光罩解決方案也有利於生產和運輸光罩的遮罩廠。 由於產業轉移至子 32nm 線寬,並從 200mm 轉至 300mm 晶圓直徑,光罩的生產成本越趨昂貴,也因此在正確的場合與時機取得光罩,變得十分重要。這些趨勢突顯出隔離和自動化策略對於減輕汙染和靜電放電 (ESD) 損壞,極為重要。

因此,Brooks 自動化窄光罩索引器對於晶圓廠的獲利率來說日益重要 。

光罩處理產品套件受到半導體設備製造商、光罩遮光片供應商及設備製造商廣泛採用,做為在生產期間操作與保護昂貴光罩的平台 。

最大化生產力與獲利率

  • 窄光罩索引器可保護來自各種來源的微粒汙染與空氣分子汙染的光罩,同時為黃光照相機台提供標準介面。用於與 SMIF-Pods™ 和 SMIF-E™ 惰性氣體清潔系統的結合,您可以維護優於 ISO Class 3 的環境,提供更高的生產力與良率。
  • 窄光罩索引器可保護來自各種來源的微粒汙染與空氣分子汙染的光罩,同時為黃光照相機台提供標準介面。用於與 SMIF-Pods™ 和 SMIF-E™ 惰性氣體清潔系統的結合,您可以維護優於 ISO Class 3 的環境,提供更高的生產力與良率。
  • 窄光罩索引器可保護來自各種來源的微粒汙染與空氣分子汙染的光罩,同時為黃光照相機台提供標準介面。用於與 SMIF-Pods™ 和 SMIF-E™ 惰性氣體清潔系統的結合,您可以維護優於 ISO Class 3 的環境,提供更高的生產力與良率。
  • SMIF 型光罩存取端口可用於大多數黃光曝光機與光罩製造,由光罩檢查設備供應商提供或直接由 Brooks 提供。

窄光罩索引器

SMIF-INX™ 產品專為提供光罩定位索引給固定Z 軸操作裝置或光罩盒定位至Z 軸操作裝置固定式平面。 SMIF 光罩索引器可容納 6 及 9 吋光罩。

內部 PTFE ULPA 過濾系統保持優於 ISO Class 3 的環境。SMIF 與 SMIF-E-Charger 系統的汙染控制優點記載詳細,並可提供大量的生產力,與良率可為使用者提高節省成本效益。

最大化生產力與獲利率

  • 可單一或多個 (6) 光罩盒運作。
  • SMIF-INX 直接裝上製程機台。
  • DC 伺服控制及位置反饋提供高速晶圓索引,對機台製程週期時間造成最小影響,並確保定位正確性為 ±0.005 吋 (0.127mm)。
  • 取得專利的雷射型感應系統提供精細的光罩與插槽定位、光罩位置計量及對突片光罩的感測。
  • 快速接線與安裝,以進行快速維護。
  • 輸出入端口符合 SEMI E15 和 E19 規格;150R NRI 亦符合 SEMI S2 和 S8。