M2 光罩盒更換設備

Brooks M2 光罩換盒設備是一款光罩盒交換和光罩檢查的系統。 每一種特定 I/O 介面, 提供光罩更換傳送盒至適用所有掃描機/步進機的傳送盒,例如 Canon、Nikon、ASML、Toppan、Hoya、DMS 光罩盒等)。

重要特色

  • 全自動 光罩 傳載
  • Class 1 環境/ESD/AMC
  • 光罩定位
  • 光罩識別碼辨識
  • RF-tag 或 條碼之傳送盒辨識
  • 強光燈目視檢查
  • 可加裝量測儀器
  • N2 Particle blow off