Certon™ 450 Load Port

Certon™ 450mm Load Port 相容於 450mm FOUP、FOSB 及 MAC (多重製程應用載具) 標準。 獨特的功能包括專利申請中的端口門閉合機制,以同步與同時關閉的 Pod 門,此外具備 390N 的平均分配Pod關門力量功能。

獲得專利的「Tilt and Go」(傾斜與啟動) 功能提供可由單一人員的安裝與拆除功能,原因是由於機器呈平均的重量分配。 450 晶片載出載入機重量僅 80kg,重量是同級晶片載出載入機的一半。

植入的標準功能

  • 晶片計量偵測,包括 在450mm 載具插入的 300mm 晶圓
  • 突片感測
  • 載具置放感應

高度可組合設定

  • 指示燈可軟體設定
  • 通訊 – 透過 RS232 的 HSMS、SECS、ASCII、經由乙太網路的 ASCII

使用容易

  • 整合式 RFID
  • 可設定瀏覽器
  • 通訊協定轉換器可模擬成舊有的與競爭對手的晶片載出載入機

低持有成本

  • 無需內部校準,代表可快速設定
  • 無需定期的維護

同級中最佳人體工學設計

  • 適合單一人員維修的「Tilt and Go」(傾斜與啟動) 功能
  • 專利申請中的水平門關閉機制
  • 若要獲得有關此產品的詳細資訊,請聯絡您的區域銷售代表辦公室。