工廠自動化解決方案

Brooks Automation 提供業界潔淨度最高等級的Sorter和Loadport。Spartan Sorter可提供業界頂尖的潔淨度控制能力,以及高效率的生產能力和方便的操作性能。我們的 300mm Vision Loadport不只提供超高的潔淨度,還有可靠靈活的工具介面;而 200mm SMIF Loadport (LPT) 更是適用於所有 SMIF 解決方案為業界之標準。此外,Brooks 還提供創新的機台近端FOUP暫存解決方案,以減少 AMHS 瓶頸,並提升機台利用率。

Spartan 450mm 晶圓撿片機
IsoPort Load Port