影片: Brooks Automation 在半導體業界為尖端低溫泵市場之領導品牌。

Brooks Automation 在半導體業界為尖端低溫泵市場之領導品牌。

Brooks 在低溫泵技術的專業表現眾所皆知。在適用於半導體製造之自動化與低溫技術方面,我們是市場第一領導品牌。

我們與超過 200 個 OEM 客戶有著密切的客戶關係。我們的產品在受控制環境中可精確可靠地處理敏感物質。從推出第一台適用於半導體製造的低溫泵,到推出第一台智慧型泵浦和可變速率的壓縮機,在過去 40 幾年間,我們一直是低溫泵技術與創新的領導者。

ON BOARD IS 320FX

On Board IS 320FX 低溫泵結合多種離子注入的優點:領先業界的泵浦速率、容量、陣列壽命和效率。在同類產品中,其具備最高的氫泵浦速率與容量。此 FX 陣列設計還可提供一致的基礎壓力,減少離子束劑量中斷現象。本尖端低溫泵最大特色在於其始終如一的優異真空效能。

IS 320FX 特別針對注入程序設計,在同類產品中提供最高的氫泵浦速率與產能。此外,相較於其他低溫泵會快速衰減到其原始速率的 80% 以下,320FX 於每次再生時仍可維持超過 90% 的起始泵浦速率。

ON BOARD IS 8F

On Board IS 8F XP 低溫泵由於其頂尖的凝華程序,而成為業界推崇的 PVD 泵。8F XP 提升了生產力、機台利用率和改善能源效率,以減少工具的總持有成本。

8F XP 的優點包括混合氣體製程的產能大幅提升,可增加再生次數同時增加機台利用率。在今日嚴密受控制的製程環境中,製程透明度的重要性不言而喻。在一系列不同的製程和流量率中,XP 提供的製程透明度,與其前身 8F 和眾多終端使用者所展現的相同。

工業應用

Brooks 工業應用發展出各種解決方案,持續關注於客戶的需求。

我們的技術顧問模式能發展出創新且確認適用,同時持續開發的工業應用,將我們的客戶帶向成功。 

例如我們的應用團隊開發了低溫泵混合組合,解決了兩項挑戰:將 O2 泵浦速率最大化,同時在 Ar 泵浦過程中提供靈活度。

像是混合組合類的解決方案,就是與客戶密切合作所開發而成,提供製程工程師製程最佳化所必需的靈活度與微調。

另一項挑戰就是氙推進器在太空模擬應用中的設計和測試。

我們的應用團隊又再次開發出獨特的解決方案,將三台原位氙泵浦和兩台 On Board 低溫泵結合在一起。這項解決方案克服了眾多限制,解決速率和大型腔體所帶來的挑戰。

無論是訓練、簡報、升級或技術分析,我們讓顧問諮詢與多年解決問題的經驗遍及全球各地。

服務

我們從「全球化思維,在地化經營」的視野出發,提供全方位的服務。

我們有位於全球各地的服務中心與辦公室,提供保證運作支援 (Guaranteed Up-Time Support) 與快速回應 (Rapid Response),支援快速解決問題的方案,並提供同級方案中最佳且最可靠的客戶支援。

我們的產品專家能讓客戶無後顧之憂,盡享各種現場服務、Brooks 大專院校訓練、供應鏈管理以及為數眾多的其他產品系列。

放眼未來

Brooks 總是想得比客戶早,不管是在近期還是未來,都會持續扮演領航員的角色,協助半導體製造商更具競爭力。