On-Board® 低溫泵

Brooks CTI-Cryogenics On-Board 超低溫真空幫浦可促進高速整合並改善系統作業,創造高可靠性與高效能的世界級標準。On-Board 超低溫幫浦的高效能,配備全新整合的控制器,可提供優異的運轉時間並支援周邊設備,優異的運轉時間可直接提升機台的產量。

重要特色

  • Fast Regen™ 功能可快速完成再生作業, 讓超低溫幫浦的效能暫時性的回復
  • 超低溫幫浦經由之間內網路的連結, 執行的同步再生功能可加快整個超低溫幫浦系統再生的速度
  • 內建的微處理器控制可增強效能、執行例行診斷並提供通訊功能 
  • 先進的軟體和簡易的圖形, 讓操作介面可大幅改善效能及方便性

On-Board 超低溫幫浦型號

4F

8

8F

10

10F

250F

400

500

抽氣速度 - 公升/秒

 

水蒸氣

1,100

4,000

4,000

9,000

9,500

6,500

17,500

30,000

空氣

370

1,500

1,500

3,000

 

2,200

6,000

10,000

370

2,500

2,200

5,000

 

3,200

12,000

12,000

310

1,200

1,200

2,500

 

1,800

5,000

8,400

容量 - 標準公升

 

210

1,000

1,000

2,000

 

1,000

2,500

6,000

氫 (5x10-6 Torr)

3

17

12

24

24

16

42

45

標準再生時間 (低溫致冷)

 

第一和第二級

75 分鐘

2.5 小時

2.5 小時

2.5 小時

2.5 小時

<3.3 小時

3 小時

<3.8 小時

第二級

<1 小時

<1 小時

<1 小時

<1 小時

<1 小時

<1.5 小時

<1.5 小時