壓縮機

Brooks CTI-Cryogenics 提供各種壓縮機選擇,專為在 On-Board 低溫幫浦、Cryo-Torr 低溫幫浦及/或 On-Board 水幫浦提供最佳效能而設計。整合式低溫幫浦電源頻率變流器可確保最大低溫幫浦效能,提供 50 和 60 Hz 應用,適用於所有 Brooks 真空幫浦。

IS-2000V數據表

提供機型

  • 8200 壓縮機 - 其設計在搭配 On-Board 低溫幫浦、On-Board 水幫浦和 Cryo-Torr 低溫幫浦時能發揮最佳效能,此壓縮機可支援最高到 8 吋的所有幫浦規格。由於 8200 的彈性設計,因此您可以為您的系統找到最適合的壓縮機。
  • 9600 壓縮機 - 此壓縮機的設計具備超長使用壽命、高可靠性及使用便利性,在搭配所有 Cryo-Torr 低溫幫浦、On-Board 低溫幫浦、On-Board 水幫浦和 On-Board TurboPlus 真空幫浦使用時能發揮絕佳的效能。9600 可支援單一和成組的幫浦配置,並相容於世界各地的 CTI-Cryogenics 幫浦設備。
  • 9700A 壓縮機 - 9700A 壓縮機大幅增加氦輸出,最適合同時操作多個低溫幫浦。針對大部分的多樣化低溫幫浦和水幫浦應用,一部 9700A 壓縮機就可提供單壓縮機解決方案。相較於多壓縮機應用,9700A 壓縮機可大幅節省能源和水資源的耗用且不佔空間,同時可相容於 Cryo-Torr® 和 On-Board® 低溫幫浦。
  • IS-1000 壓縮機 - 適用於 On-Board IS 低溫幫浦的智慧型、高效率壓縮機技術。  IS-1000 所佔用的空間與 9600 壓縮機相同,最多可同時支援 6 個 On-Board IS-8F 低溫幫浦。
  • IS-2000V 壓縮機 - 以高效能變頻技術達到可調式氦氣流量輸出並符合 SEMI S-23 目標,可在所有的作業階段中將電源耗用降到最低。  IS-2000V 可取代兩個 On-Board IS-1000 壓縮機。  這個高容量的氦壓縮機可支援 On-Board IS 低溫幫浦應用。

整合式低溫幫浦電源變頻器, 在50和60Hz中, 可確保低溫幫浦達到最佳效能,並已經應用於所有 Brooks 真空幫浦。