低溫技術

CTI-Cryogenics 和 Polycold 產品

布魯克斯自動化提供了廣泛的高性能和高能效低溫產品為半導體,顯示器,R&D和一般真空行業。應用包括超高真空生成用於半導體工藝設備,快速水蒸汽低溫泵送用於顯示和其他真空鍍膜設備,閉環低溫製冷系統,大規模的真空室空間模擬,以及小規模研發用於真空和溫度控制的應用。

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Brooks Automation 在半導體業界為尖端低溫泵市場之領導品牌。