LED

基板自動搬運、定位和校準已成為改善良率、減少佔地面積和降低總擁有成本的基準,使發光二極管 (LED) 的製造商和設備製造商能尋求更新的方法來降低成本。LED 基板傳送的自動化必須能針對許多不同的基板尺寸,負重和材料類型提供簡易、可靠及可預測的效能。  

我們已開發完整的解決方案,能夠解決 MOCVD、PVD、Etch、量測和微影技術等許多不同應用的需求: 

  • 高載重大氣和真空機器手臂
  • 基板和晶圓傳送機械手臂的雙面抓取棒
  • 2-8 吋藍寶石基板和矽晶圓的簡單化大氣傳輸控制
  • 藍寶石基板和矽晶圓的最佳化校準和晶圓定位
  • 可容納 16 個 4 吋晶圓盒的暫存區,可根據晶圓尺寸進行調整
  • 提供一站購足式服務和客製化的真空和大氣晶圓傳載系統
  • 低溫泵低溫冷卻設備解決方案

憑藉著我們在半導體前段製程的悠久歷史和經驗,在這個快速成長的市場中,這些產品皆具有無與倫比的品質、可靠性和可重現性。Brooks 可針對您的系統整合需求,提供完整的基板傳送解決方案或是可快速配置的系統整合元件。 我們所提供的產品使用壽命解決方案無論在設計、製造、服務及支援專業方面,都已經證明是您最佳的選擇。