半導體工具自動化

半導體應用需要高精準度的自動化,以及具可靠、可預測性的真空效能,使晶圓傳送能夠在潔淨及受控制的環境中傳送。Brooks 提供一整套完整的半導體自動化控制解決方案,可作為真空和大氣晶圓傳送的獨立組件或整合系統的一部分。

憑藉著我們備受肯定的超低溫冷凍技術和領導地位,Brooks 的真空泵浦、冷卻和真空抽水氣泵解決方案即使在要求最為嚴苛的製程應用中仍可提供可預測、無塵的真空或冷卻效能。此外,Brooks 真空儀器解決方案還可提供特定的壓力測量、壓力控制和真空品質測量。

無論是 Etch、CVD、ALD、PVD、微影技術、潔淨技術和量測以及檢測應用方面,Brooks 都具備數年的特定應用解決方案經驗,且憑藉著無可匹敵的技術領導地位、產業專業和絕佳的組合而備受肯定:

在過去 20 年中,Brooks 在半導體市場中一直都是領先業界的自動化、超低溫冷凍幫浦和儀器設備解決方案供應商。  當晶圓尺寸從 100mm 轉移至 300mm 基板時,Brooks 更憑藉著備受肯定的解決方案與元件來領導著整個轉移的過程。當業界轉移至 450mm 晶圓時,Brooks 再一次與客戶建立夥伴關係來開發 450mm 自動化、超低溫冷凍幫浦和儀器設備,以作為選用元件或完整自動化系統的一部分。

 

Brooks 擁有具備豐富知識和經驗的全球服務支援團隊,分佈在美國、歐洲、中國、台灣、日本、新加坡和韓國。